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微纳加工
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质量标准: 可为客户提供:光刻掩膜版(光罩)mask、蒸镀掩膜版mask;

各种尺寸及超高精度的光刻石英玻璃铬版、从open mask到0.1um的fine mask等各种规格尺寸的蒸镀掩模板mask;

可为客户提供:光刻、深硅刻蚀,氧化、镀膜、扩散、外延、键合、测试、注入、切割、打孔、Mems加工等各种工序及器件加工及全面测试服务;